根据etnews的报道，SK Hynix已开始在其位于韩国利川市的M16工厂安装EUV光刻机，以批量生产10nm1aDRAM。在此之前，SK海力士宣布将在今年的M16工厂建立一条生产线，以生产下一代DRAM，但未透露ASMLEUV光刻机的引入方法或确切时间。
因此，业内人士有很多猜测，包括将R3研究大楼中的两台EUV光刻机转移到生产线，并计划在今年2月开始安装新购买的设备。现在看来，SK Hynix新设备的购买和安装速度快于行业预期。
报告指出，EUV光刻机的安装时间为3至6个月，因此SK海力士最早将于今年上半年批量生产第一批产品。据报道，ASML是EUV光刻机的独家供应商，单价超过1.35亿美元。
