薄膜厚度计可用于在线薄膜厚度测量,氧化物测量,SiNx,光敏保护薄膜和半导体薄膜。
它还可用于测量涂在钢,铝,铜,陶瓷和塑料上的粗糙薄膜层。
界面处的反射光干扰来自基板的反射光。
干涉的发生与膜厚度和折射率有关。
因此,可以计算膜的厚度。
光学干涉方法是无损,准确和快速的光学膜厚度。
测量技术,薄膜测量系统采用光学干涉原理来测量薄膜厚度。
1,可以测量多层薄膜中每层的厚度2,三维厚度剖面3,遥控和在线测量4,可以做150mm或300mm宽范围的扫描测试5,丰富的材料库:操作软件材料库具有大量材料的n和k数据。
本材料库中包含基本使用的材料。
用户还可以输入不在材料库中的材料。
6.软件操作简单,速度测量快:膜厚测量仪操作非常简单,测量速度快:100ms-1s。
7,软件具有结构材料结构的扩展功能,可以适应和分析单/多层薄膜数据,并可以预先模拟薄膜材料。
8.软件磁带可扩展扫描功能,2D胶片测试和2A或3D显示。
其他升级功能包括在线分析软件,遥控模块厚度测量:10 nm - 250μm;选择250nm-1100nm之间的任何波长,并选择此范围内的多波长分析;波长:250-1100nm厚度范围:10nm - 250m分辨率:0,1nm重复性:0,3nm精度:& lt; 1 [%](100nm - 100m)测试时间:100ms - < 1s分析层数:1--4光纤距离:1-5mm镜头距离:5mm-- 100mm入射角:90°光斑尺寸:400m微点表示:与显微镜一起使用,1--20m,显微镜10x / 20x / 50x放大倍率和MFA适配器;光纤长度:2米(其他长度根据要求)接口:USB 1.1(RS-232)电源要求:12 VDC @ 1,2A,220 VAC 50/60 Hz尺寸:180mm x 152 mm x 263mm总计:3.5 kg厚度计是主要用于晶圆或玻璃表面介质绝缘层(SiO2,Si3N4,光刻胶,ITO,......);晶圆或玻璃表面上的超薄金属层(Ag,Al,Au,Ti,......); DLC(类金刚石碳)硬涂层; SOI晶圆; MEM厚膜(100m至250m); DVD / CD涂层;光学镜片涂层; SOI晶圆;金属箔;晶圆和掩模气层;变薄的晶圆(& lt 120m);弧形涂层,如瓶子或注射器;电影业在线过程控制等场合。