薄膜电感采用的是类似于 IC 制作的工艺，在基底上镀一层导体膜，然后采用光刻工艺形成线圈，最后增加介质层、绝缘层、电极层，封装成型。
薄膜器件的制作工艺，如下图所示。
图 4 TDK 薄膜电感
图 5 TDK 薄膜线圈
光刻工艺的精度很高，制作出来的线条更窄、边缘更清晰。因此，薄膜电感具有
更小的尺寸，008004 封装
更小的 Value Step，0.1nH
更小的容差，0.05nH
更好的频率稳定性
